金融界2025年4月7日音讯,国家知识产权局信息数据显现,重庆芯联微电子有限公司请求一项名为“改进刻蚀均匀度的刻蚀设备及刻蚀办法”的专利,公开号 CN 119764153 A,请求日期为2024年12月。
专利摘要显现,本发明供给一种改进刻蚀均匀度的刻蚀设备及刻蚀办法,经过将聚集环的顶面设置为低于晶圆承载台上所承载的晶圆的顶面,可露出晶圆斜面的下侧,完成深度离子穿透,可添加晶圆边际部分的离子流速度,添加晶圆边际部分的蚀刻速率,进步等离子体散布均匀性,改进刻蚀均匀度。进一步的,经过优化聚集环台阶的描摹,使得聚集环台阶具有圆弧化角落,可进一步的进步等离子体反弹作用,以对晶圆边际进行相对有用刻蚀。
天眼查资料显现,重庆芯联微电子有限公司,成立于2023年,坐落重庆市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制作业为主的企业。企业注册本钱870000万人民币,实缴本钱522000万人民币。经过天眼查大数据分析,重庆芯联微电子有限公司参加招投标项目678次,专利信息65条,此外企业还具有行政许可11个。
特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包含在内)为自媒体渠道“网易号”用户上传并发布,本渠道仅供给信息存储服务。
“特朗普手机,美国制作”竟是谎话!美国仅有手机制作商“打脸”:其实是一家我国公司出产!分析师也表明“像我国产品”
跌太惨了!南京这个小区从单价56927元到19089元,市值蒸腾70%…
高考356分!一家长泣诉3年开销56万:房租4万、补习5万、教导23万
2025我国汽配企业10强:冠军年入超2500亿,潍柴第2,轮胎业占1家
Shams:公牛将朗佐-鲍尔送至骑士换回奥科罗
小米YU7爆火催生倒卖订单:交给时刻最长56周,有黄牛加价1.7万转卖
传iPhone 17 Pro和17 Pro Max的背部苹果Logo将坐落更靠下的方位
荣耀MagicOS六月更新来袭:YOYO大改版+分批推送,你收到了吗?
OPPO Reno15系列再次被承认:双尺度直屏+2亿主摄,硬件也有惊喜
祝贺BLG!3-0横扫G2,晋级MSI淘汰赛!3路限制,Caps张狂失误
《编码物候》展览开幕 北京年代美术馆以科学艺术解读数字与生物交错的世界节律